TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统，配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台，同时结合AI图像处理算法和Design CA，有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。
TB2000的发布，使天准成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商，逐步实现先进工艺中缺陷检测装备的国产替代。
方案优势
高灵敏度
可稳定抓取尺寸 30nm 及以上缺陷
先进的信号处理算法，有效提高信噪比
深紫外宽波段，可抓取各种类型缺陷
高Throughput
高data rate
多种pixel size 选择
支持high speed 扫描模式
智能软件支持
在线智能分类系统SDA
工艺窗口验证
支持design care area
自主可控国产供应链
深紫外大通量成像系统
高速深紫外TDI
高功率LSP光源
超精密运动台
