具备较高分辨率,满足大多数样品的微观形貌测试,尤其适合不便喷涂导电膜的试样
翻开式枪室结构钨丝阴极,更换灯丝方便
独特的结构可实现样品室低真空氛围(10-270Pa),有效降低电荷积累
成像效果优良,细节清晰,景深大
中英文菜单,一键成像
易操作,低故障,适合多试样测试
自动功能:电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等
自动校正,自动故障检测
应用领域:
生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等
分辨率:3nm@30KV(SE,高真空); 6nm@30KV(BSE,高、低真空)
放大倍率:8~300000 倍