VPCTL系列和UHVPCTL系列高精度真空位移台,采用交叉滚子导轨,自带真空专用增量式光栅尺,配合真空步进电机,可实现高精度直线运动,配合自主研发的控制器实现闭环控制,非常适用于真空环境的精密运动领域。
产品特点
●超高精度
●带自锁
●光栅尺闭环控制
●限位开关行程可调
●兼容真空环境
主要参数
| 型号 | VPCTL6-10 /UHVPCTL6-10 | VPCTL8-20 /UHVPCTL8-20 | VPCTL10-30 /UHVPCTL10-30 | VPCTL8-10 /UHVPCTL8-10 | VPCTL12-30 /UHVPCTL12-30 | VPCTL12-50 /UHVPCTL12-50 | |
| 机械规格 | 行程/mm | 10 | 20 | 30 | 10 | 30 | 50 |
| 台面尺寸/mm x mm | 60×60 | 80×80 | 100×100 | 80×80 | 120×120 | 120×160 | |
| 传动方式 | 螺母丝杆 | ||||||
| 导轨 | 交叉滚子导轨 | ||||||
| 材质 | 铝 | ||||||
| 精度规格 | 分辨率/μm | 0.5 | |||||
| 重复定位精度/μm | ±1 | ||||||
| 俯仰精度/” | ±5 | ±5 | ±8 | ±5 | ±8 | ±10 | |
| 偏摆精度/” | ±5 | ±5 | ±8 | ±5 | ±8 | ±10 | |
| 承重/Kg | 3 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 | |
| 电气规格 | 限位 | 电子限位 | |||||
| 光栅 | 增量式 | ||||||
| 步进电机 | 2相，转角1.8° | ||||||
| 电源电压/V | 24±10% | ||||||
| 控制接口 | DB15 | ||||||
| 控制器 | 可选配 | ||||||
| 适用真空度 | VPCTL系列适⽤于10-4 Pa, UHVPCTL系列适⽤于10-7 Pa | ||||||
