二维纳米定位/扫描平台

二维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。

       支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

 · 亚纳米级分辨率

 · 高速、高动态

 · 无摩擦柔性铰链导向

 · 多运动模式：定位/扫描

 · 兼容超高真空

 · 超高定位精度

应用领域：

 · 光学对准

 · 纳米压印

 · 显微成像/操纵

 · 表面检测

 · 半导体加工

规格参数：