JSM-IT800 整合了我们用于从高分辨率成像到快速元素分析的“浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪”、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”以及无缝 GUI 系统“SEM Center”,该系统采用一体化 JEOL X 射线能量色散谱仪 (EDS) 作为通用平台,进行快速元素分析。
JSM-IT800 允许物镜作为一个更换模块,提供不同的版本以满足各种用户需求。JSM-IT800 有五种版本,提供不同的物镜:混合型物镜 (HL),这是一种通用 FE-SEM;超级混合物镜(SHL/SHLs,具有不同功能的两种版本),可实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半浸没式物镜(i/is,具有不同功能的版本),适用于纳米材料、化学、新材料、半导体器件的观察和分析。
此外,JSM-IT800 还可以配备新型闪烁体背散射电子探测器 (SBED) 和多功能背散射电子探测器 (VBED)。SBED 支持以高响应性获取图像,即使在低加速电压下也能产生清晰的成分衬度,而 VBED 可以帮助获取 3D、形貌和成分衬度的图像。因此,JSM-IT800 可以帮助用户获取丰富多样德 信息并解决测量中的问题。
主要特点
1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
集成的浸没式肖特基Plus电子枪和低像差聚光透镜可实现高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的探针电流(100nA@5kv), 这可帮助用户在对SEM参数进行微小调整的情况下,进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。
2. Neo Engine(New Electron Optical Engine)
配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统,可在调整各种参数的同时进行稳定的观察。此外,该系统还具有增强的自动功能,更易于使用。
AFS / ACB
样品:碳基纳米锡粒子入射电压:15kV,WD:2mm,观察模式:BD,检测器:UED, 倍率:x200,000
3. SEM Center / EDS一体化
操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了全面集成,更易于操作。此外,还配备了Smile Navi(可选),可以帮助新手了解如何操作SEM,LIVE - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)(可选),可轻松查看实时图像;及SMILE VIEWTM Lab,用于快速生成报告。
4. LIVE - AI Filter
利用AI功能,整合LIVE-AI Filter以实现更高质量的实时图像。与图像集成处理不同,这样可以显示无残留图像的无缝移动实时图像。这一独特功能对于快速搜索观察区域、聚焦和像散调整非常有效。
实时图像比较
样品:蚂蚁外骨骼,入射电压:0.5kV,SED检测器
样品: 铁锈, 入射电压:1kV,SED检测器
5. HL/HLs(Hybrid Lens)、 SHL/SHLs(Super Hybrid Lens)、i/is (Semi-in-Lens)
JSM-IT800 系列了提供多种物镜可供选择,以满足用户的多种需求。
* HL 版本和 SHL 版本(包括 SHLs 版本)配备了电磁/静电场叠加物镜。可以对从金属到纳米材料的各种样本进行高分辨率观察和分析,特别适用于磁性材料的观察和分析,例如 EBSD 分析。
* i 版本和 is 版本都配备了半浸没式物镜,非常适合对倾斜和横截面样本进行高分辨率观察和分析,这是半导体器件故障分析的必备要素。此外,它还适用于使用高位透镜内电子探测器 (UID) 进行观察。
6. 高位检测器UHD (Upper Hybrid Detector)
SHL物镜里标配高位检测器,可高效检测样本中的电子,从而获得高S/N的图像。
7. 新型背散射电子检测器
闪烁体背散射电子检测器(SBED、选配件)响应性能优越,适用于低加速电压下材料衬度像的采集。多用途背散射电子检测器(VBED、选配件)适用于3D、凹凸等特色图像的采集。
主要参数
HLversion | is version | i version | SHLs version | SHL version | |
分辨率 (1 kV) | 1.3nm | 1.0nm | 0.7nm | 1.1nm | 0.7nm |
分辨率 (15 kV) | 0.6nm | 0.5nm | 0.6nm | 0.5nm | |
分辨率 (20 kV) | 0.7nm | ||||
分辨率(分析) | 3.0nm(5kV,5nA,WD 10mm) | 3.0nm(5kV,5nA,WD 8mm) | 3.0nm(5kV,5nA,WD 8mm) | 3.0nm(5kV,5nA,WD 10mm) | 3.0nm(5kV,5nA,WD 10mm) |
加速电压 | 0.01 - 30 kV | ||||
检测器 | SED、UED | SED、UID | SED、UID、UED | SED、UHD | SED、UHD |
电子枪 | 浸没式schott-plus场发射电子枪 | ||||
入射电流 | 最大300nA | 最大300nA | 最大500nA | 最大500nA | 最大500nA |
物镜 | HL | semi-in-lens | semi-in-lens | SHL | SHL |
样品台 | 全对中马达驱动样品台 | ||||
EDS | 能量分辨率133eV以下, 检测元素B-U, 60mm2大面积检测器 | ||||
分析功能option | EDS,WDS,EBSD,CL | EDS,WDS,CL | EDS,WDS,CL | EDS,WDS,EBSD,CL |
主要的选配件
* 高位电子检测器 (UED)
* 背散射电子检测器 (BED)
* 闪烁体背散射电子检测器(SBED)
* 多用途背散射电子检测器(VBED)
* 透射电子检测器(TED)
* 低真空 (含低真空背散射电子检测器LVBED)
* 低真空二次电子检测器 (LVSED)
* 电子背散射衍射 (EBSD)
* 波谱仪 (WDS)
* 软X射线分光器 (SXES)
* 探针电流检测器
* 样品台导航系统
* 样品室相机
* 操作桌
* 操作面板
* LIVE-AI过滤器ー
* SMILE VIEW™ Map