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JSM-IT800  热场发射扫描电子显微镜图1

JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜

2025-03-20 16:3370询价
价格 面议
发货 北京付款后3天内  
品牌 JEOL
该产品库存不足
产品详情

JSM-IT800 整合了我们用于从高分辨率成像到快速元素分析的“浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪”、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”以及无缝 GUI 系统“SEM Center”,该系统采用一体化 JEOL X 射线能量色散谱仪 (EDS) 作为通用平台,进行快速元素分析。

JSM-IT800 允许物镜作为一个更换模块,提供不同的版本以满足各种用户需求。JSM-IT800 有五种版本,提供不同的物镜:混合型物镜 (HL),这是一种通用 FE-SEM;超级混合物镜(SHL/SHLs,具有不同功能的两种版本),可实现更高分辨率的观察和分析;以及新开发的半浸没式物镜(i/is,具有不同功能的版本),适用于纳米材料、化学、新材料、半导体器件的观察和分析。

此外,JSM-IT800 还可以配备新型闪烁体背散射电子探测器 (SBED) 和多功能背散射电子探测器 (VBED)。SBED 支持以高响应性获取图像,即使在低加速电压下也能产生清晰的成分衬度,而 VBED 可以帮助获取 3D、形貌和成分衬度的图像。因此,JSM-IT800 可以帮助用户获取丰富多样德 信息并解决测量中的问题。

主要特点                                                                                                                                      

1.   浸没式肖特基Plus场发射电子枪  

集成的浸没式肖特基Plus电子枪和低像差聚光透镜可实现高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的探针电流(100nA@5kv), 这可帮助用户在对SEM参数进行微小调整的情况下,进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。

2.   Neo Engine(New Electron Optical Engine)

配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统,可在调整各种参数的同时进行稳定的观察。此外,该系统还具有增强的自动功能,更易于使用。

    AFS  / ACB

样品:碳基纳米锡粒子入射电压:15kV,WD:2mm,观察模式:BD,检测器:UED, 倍率:x200,000


3.   SEM Center / EDS一体化

操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了全面集成,更易于操作。此外,还配备了Smile Navi(可选),可以帮助新手了解如何操作SEM,LIVE - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)(可选),可轻松查看实时图像;及SMILE VIEWTM Lab,用于快速生成报告。

4.   LIVE - AI Filter

利用AI功能,整合LIVE-AI Filter以实现更高质量的实时图像。与图像集成处理不同,这样可以显示无残留图像的无缝移动实时图像。这一独特功能对于快速搜索观察区域、聚焦和像散调整非常有效。

实时图像比较

样品:蚂蚁外骨骼,入射电压:0.5kV,SED检测器

样品: 铁锈, 入射电压:1kV,SED检测器

5.   HL/HLs(Hybrid Lens)、 SHL/SHLs(Super Hybrid Lens)、i/is (Semi-in-Lens)

JSM-IT800 系列了提供多种物镜可供选择,以满足用户的多种需求。

*  HL 版本和 SHL 版本(包括 SHLs 版本)配备了电磁/静电场叠加物镜。可以对从金属到纳米材料的各种样本进行高分辨率观察和分析,特别适用于磁性材料的观察和分析,例如 EBSD 分析。

*  i 版本和 is 版本都配备了半浸没式物镜,非常适合对倾斜和横截面样本进行高分辨率观察和分析,这是半导体器件故障分析的必备要素。此外,它还适用于使用高位透镜内电子探测器 (UID) 进行观察。

6.  高位检测器UHD (Upper Hybrid Detector)

SHL物镜里标配高位检测器,可高效检测样本中的电子,从而获得高S/N的图像。

7.  新型背散射电子检测器

闪烁体背散射电子检测器(SBED、选配件)响应性能优越,适用于低加速电压下材料衬度像的采集。多用途背散射电子检测器(VBED、选配件)适用于3D、凹凸等特色图像的采集。

主要参数


HLversionis versioni versionSHLs versionSHL version
分辨率 (1 kV)1.3nm1.0nm0.7nm1.1nm0.7nm
分辨率 (15 kV)
0.6nm0.5nm0.6nm0.5nm
分辨率 (20 kV)0.7nm



分辨率(分析)3.0nm5kV,5nA,WD 10mm)3.0nm5kV,5nA,WD 8mm)3.0nm5kV,5nA,WD 8mm)3.0nm5kV,5nA,WD 10mm)3.0nm5kV,5nA,WD 10mm)
加速电压0.01   - 30 kV
检测器SEDUEDSEDUIDSED、UID、UEDSEDUHDSEDUHD
电子枪浸没式schott-plus场发射电子枪
入射电流最大300nA最大300nA最大500nA最大500nA最大500nA
物镜HLsemi-in-lenssemi-in-lensSHLSHL
样品台全对中马达驱动样品台
EDS能量分辨率133eV以下, 检测元素B-U 60mm2大面积检测器
分析功能optionEDS,WDS,EBSD,CLEDS,WDS,CLEDS,WDS,CLEDS,WDS,EBSD,CL


主要的选配件

*  高位电子检测器 (UED)

*  背散射电子检测器 (BED)

*  闪烁体背散射电子检测器(SBED)

*  多用途背散射电子检测器(VBED)

*  透射电子检测器(TED)

*  低真空 (含低真空背散射电子检测器LVBED)

*  低真空二次电子检测器 (LVSED)

*  电子背散射衍射 (EBSD)

*  波谱仪 (WDS)

*  软X射线分光器 (SXES)

*  探针电流检测器

*  样品台导航系统

*  样品室相机

*  操作桌

*  操作面板

*  LIVE-AI过滤器ー

*  SMILE VIEW™ Map


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