产品概述
LS35x.Lab压电线性位移台产品特色
• 纳⽶级位置连续调节
• 5nm 最⼩步伐
• 超⾼真空，完全⽆磁版本
• 百万次全⾏程耐久测试
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
LS35x.Lab压电线性位移台选型表
| 产品参数 | LS35x.Lab | LS35x.Lab.E | |
1 | 特殊版本 | .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本； .NM，完全无磁版本； | ⽆ |
2 | 外形尺寸 | 35 × 35 × 12 mm | |
3 | 主体材料 | 标准版，.HV，.UHV 不锈钢：85 g；NM，纯钛；65 g | 不锈钢；85 g |
4 | 运动行程 | 20 mm | |
5 | 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
6 | 驱动力 | 典型值：2 N ；可选配：4 N | 2 N |
7 | 保持力 | 典型值：3 N ；可选配：5 N | |
8 | 水平方向使用最大负载 | 1 kg | |
9 | 竖直方向使用最大负载 | 默认：100 g，可选配：250 g | |
10 | 双向位置重复精度 | ±100 nm | ±300 nm |
11 | 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad | |
12 | 最小步伐（闭环) | 5 nm | 100 nm |
13 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | |
14 | 位置传感器分辨率 | 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； | 50 nm |
15 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) | |
16 | 控制器规格 | MC-Newton.S系列 | |