采用标准显微镜，自感知探针AFM和高NA物镜，实现Raman-AFM联用。AFM 揭示了纳米尺度上的结构(地形)和机械信息(例如，刚度或杨氏模量，粘度，局部粘附力) ，与拉曼显微镜在亚微米尺度上提供的化学信息相互补充。
拉曼-AFM联用系统SuperSPM-R900
仪器功能及特点：
• 采用基于石英音叉的压电自感知探针，如Akiyama探针、SuperSPM探针。
• 采用标准显微镜，实现拉曼或者荧光探测，无需特殊改造。
• 实现频率调制模式的形貌成像等测量分析功能，测量时样品无激光干扰。
• 采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强。
• 可选配多种规格的平面闭环型扫描器。
• 可选配扩展模块增强系统功能，支持特殊功能定制。
拉曼-AFM联用系统SuperSPM-R900主要技术参数：
1、大气环境的原子力显微镜（AFM），主要组件包含主机、控制器、测控软件及数据处理系统
2、采用压电自感知探针实现形貌成像及力梯度-距离谱曲线等测量功能，形貌成像工作模式为频率调制
3、采用压阻传感闭环平面扫描器， 最大扫描范围约为80μm×80μm×8μm，XY方向的开环分辨率≤0.1nm，闭环分辨率≤3.0 nm。
4、系统噪声水平（Z方向频率检测的噪声水平，RMS）：≤±1Hz。
5、一键自动进样，进样行程≥10mm，步距≤50nm
6、扫描成像速率0.1Hz~30Hz，PID反馈控制的响应时间优于10 μs
7、样品尺寸直径Φ≤20mm，高度H≤10mm，扫描角度0°、90°、180°、360°可选
8、探针对样品检测的位置可手动调节，探针在X、Y方向的可调节行程≥6mm