国产全自动台阶仪 JS3000B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
特点
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆，批量处理数据等
系统组成
▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
选配品
▲ 高度校准标样
▲ FFU模块
▲ 静电消除模块
▲ E84接口
技术参数
