ZEM Ultra 台式扫描电镜采用肖特基场发射电子源，三级独立真空设计，优于2.5nm的分辨率满足多数样品微纳结构表征需求。标配大束流及大样品仓，支持原位功能样品台及EDS/EBSD拓展。
• 产品特色：
▲ 易用性强
▲ 全自动操作
▲ 肖特基场发射电子枪
▲ 高稳定性
▲ 高分辨观测
▲ 丰富拓展
| 主要指标 | ZEM Ultra |
| 分辨率 | ≤2.5 nm |
| 放大倍数 | 50万倍 |
| 图像像素尺寸（默认） | 512*512（视频）2048*2048（拍照） |
| 加速电压 | 1-15kv连续可调 |
| 灯丝类型 | 场发射灯丝 |
| 电动样品台 | XY二轴/XYZ三轴/XYT三轴/五轴 |
| 探测器类型 | BSE、SE、EDS |
| 减速模式 | 选配（0-10kv样品台电压减速） |
| 光学导航 | 光学导航、仓内相机 |
| 样品仓内部尺寸 | 176mm宽*185mm长*125mm高 |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、大图拼接 |
| 原位台拓展功能 | 具备 |