屹东光学DSEM-100台式场发射扫描电子显微镜，采用热场发射电子枪技术，搭配复合物镜，具备优异的低电压成像性能，分辨率可达 1.5 nm@5 kV、3 nm@1 kV。设备适用于各类材料的高分辨成像，尤其适合不导电、易受电子束辐照损伤等敏感样品。
产品简介
屹东光学DSEM-100台式场发射扫描电子显微镜，采用热场发射电子枪技术，搭配复合物镜，具备优异的低电压成像性能，分辨率可达 1.5 nm@5 kV、3 nm@1 kV。设备适用于各类材料的高分辨成像，尤其适合不导电、易受电子束辐照损伤等敏感样品。
DSEM-100配备镜筒内二次电子探测器和背散射电子探测器，可高效采集样品激发出的多种电子信号，从不同维度呈现样品的微观形貌、结构及成分衬度等信息，为材料微观分析提供更加全面、清晰的图像依据。
在操作方面，DSEM-100采用触摸屏交互界面，并集成高度自动化的成像功能，将复杂的扫描电镜操作流程转化为直观、便捷的操作，大幅降低设备使用门槛，让非专业用户也能快速获得高质量图像。
配置人工智能模块，DSEM-100可实现从样品观测、参数优化到图像采集的智能化运行，是国内首台具备“无人驾驶”能力的扫描电镜。通过智能识别、自动调节与自主成像，DSEM-100推动扫描电镜从“依赖专家操作”迈向“智能自主成像”，为用户带来更高效、更稳定、更易用的微观成像体验。
| 电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 1.5nm @ 5kV, 3nm @ 1kV |
| 加速电压 | 0.02-5kV(SE)、0.02-10KV（BSE） |
| 放大倍率 | 1-2,000,000X |
| 探测电流 | 1pA-20nA |
| 样品台 | 高精度压电位移台，X、Y= 30mm，定位分辨率1nm，重复定位精度±40nm |
| 探测器 | 二次电子探测器、背散射电子探测器 |
| 用户界面 | 中英双语，流畅的触摸屏交互界面 |
| 人工智能 | 自动寻位、自主判断、自动采集、智能报告 |
湿法隔膜
碳纳米管