产品简介：

Atom Max晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在200×200 mm区域实现1 µm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，自动化程度高，操作便捷。

产品特点：

● 大行程样品台高精度定位技术：
200 mm×200 mm全区域重复定位精度≤5 μm，兼容8英寸及以下晶圆，实现晶圆全域无死角精准定位与扫描，杜绝大面积检测偏移问题。
● 一体式智能自动化设计：
对传统原子力显微镜的光学与扫描单元进行了高度集成化的重新设计，并引入了全面的自动化控制流程，探针寻峰/进针，物镜升降，激光对准及光电深测器(PSD)信号调节等关键步骤，均可通过软件界面精确执行，且可实现多点位自动连续测试。旨在将复杂、依赖经验的操作标准化，简单化。