产品简介:
Atom EdgeᅠPro多功能原子力显微镜可对材料、电子器件、生物样本等进行亚纳米级三维扫描成像及表征,广泛应用于材料科学、化学与环境科学、半导体、微电子、生物医药等领域。具备接触、轻敲、非接触等多种工作模式,为用户提供了更为灵活和精准的操作选择。此外,它还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、开尔文探针力显微镜、压电力显微镜等多种功能模式,稳定性强,可拓展性良好。同时,可根据用户需求灵活定制功能模块,为特定研究领域提供针对性解决方案,实现一机多用的高效检测平台。
产品特点:
● 多功能物性测量:
在三维形貌扫描(接触、轻敲)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、横向力显微镜(LFM)、力曲线等标准配置模式外,增加导电原子力显微镜(C-AFM)、扫描电容显微镜(SCM)、液相扫描等选配模式,真正实现在纳米材料、半导体、新能源、生物医学等领域的全面需求覆盖。
● 高精度台式扫描系统:
使用高精度台式压电扫描器,实现严格三维正交扫描(Z向线性度优于0.08%,X/Y向线性度优于0.02%),有效消除传统管式扫描器造成的图象畸变。
● 高性能数字控制器:
具备高速数据采集,高带宽反馈控制与低噪声电子信号处理能力,高精度的电路设计可确保控制信号的纯净与稳定,扫描台的精确运动和探针相互作用,保障测量精准。
● 一体式自动化实时测控软件:
深度集成光学与扫描单元,以逻辑清晰的图形化界面实现探针寻峰、进针等关键步骤的精确自动化执行,同时搭载智能参数优化与全程实时状态监控功能,可快速锁定参数,缩短调试周期,保障实验数据高度一致,全面提升操作效率。
样品尺寸 | 可兼容直径 25 mm 样品 |
扫描方式 | XYZ三轴全样品扫描 |
扫描范围 | 100 μm × 100 μm × 10 μm |
扫描速率 | 0.1 Hz~30 Hz |
Z方向噪声水平 | 0.04 nm |
非线性度 | XY方向:0.02%,Z方向:0.08% |
图像采样点 | 32 × 32~4096 × 4096 |
工作模式 | 接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式 |
多功能测量 | 静电力显微镜(EFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、磁力显微镜(MFM)、力曲线、横向力显微镜(LFM) 选配:导电原子力显微镜(C-AFM)、扫描电容显微镜(SCM)、纳米刻蚀(物理) |

