MIRA3 AMU 是一款配置了超大的样品室的高性能场发射扫描电子显微镜。这款独特的扫描电镜可用于对那些无法放入标准样品室内的超大样品进行成像和分析。
在法医学和考古学领域，以及在汽车和航空工业中，对样品的感兴趣区域进行分析的同时，也需要保持样本的完整性。很多情况下不能对样本进行任何破坏，其本身可能就是一个证据，或者完整的样本对分析研究是十分必要的，又或者样本是一个具有历史价值的珍贵样本。在这种情况下，这些样本经常会超过扫描电镜标准样品室的可容纳体积和承重能力。
为此，TESCAN 提供了 MIRA3 AMU 这款独特的场发射扫描电镜，它可以容纳超大和超重的样品，使得对此类样品进行 SEM 分析成为可能。
应用领域
生命科学
大型生物完整骨架标本的成像和分析
材料科学
完整的超大样品的表征、磨损和疲劳研究、失效分析、法医学
地质科学
矿物、整个岩石和有价值的地质样品的研究和表征，必须保存其整体结构以供分析
半导体和微电子
大尺寸晶圆 SEM 检测（最大样品直径 30”)
AMU 样品室的亮点
无需将非常大的样品切成小块就可以进行 SEM 成像
样品室内部尺寸：880 mm (宽) × 1200 mm (深)
最大试样重量：25 公斤
集成主动式减震装置
可在低真空和高真空下操作
可配置多种探测器