偏振检测系统是利用薄膜对极紫外光的反射率和相位延时特性,进行光源偏振性准确测量的专用设备,其核心器件是检偏器。可以通过旋转检偏器获取不同角度下的能量信息,结合理论分析,获得椭圆偏振光的总光强、长轴和短轴的信息。
产品特点
●高真空兼容
●高检测精度
●定制软件功能及界面
●集成度高,一键检测
主要参数
| 检测波长范围 | 根据需求设计 |
| 优化波长 | 根据需求设计 |
| 系统真空度 | 10-4Pa,特殊定制可达5×10-8Pa |
| 检测精度 | 1% |
| 出射光同轴度 | 优于0.01° |
| 检偏器旋转角度 | 0-360° |
测试数据
转轴同轴度：优于36″(0.01°)
转轴分辨率：优于0.05°
应用领域
大科学装置；
生物医药；
材料科学