VPCTLA系列高精度真空位移台,采用交叉滚子导轨, 自带真空专用增量式光栅尺,配合内置丝杆的真空步进电机,不仅可以节省空间,还可以实现高精度直线运动,配合自主研发的控制器实现闭环控制,非常适用于真空环境的精密运动领域。
产品特点
● 超高精度
● 带自锁
● 光栅尺闭环控制
● 限位开关行程可调
● 兼容真空环境
● 结构紧凑
主要参数
| 型号 | VPCTLA13-50 | VPCTLA13-100 | |
| 机械规格 | 行程/mm | 50 | 100 |
| 台面尺寸/mm xmm | 130×160 | 130×210 | |
| 传动方式 | 螺母丝杆 | ||
| 导轨 | 交叉滚子导轨 | ||
| 材质 | 铝 | ||
| 精度规格 | 分辨率/μm | 1 | |
| 重复定位精度/μm | ±2 | ||
| 俯仰精度/” | ±10 | ±12 | |
| 偏摆精度/” | ±10 | ±12 | |
| 承重/Kg | 5 | 5 | |
| 电气规格 | 限位 | 电子限位 | |
| 光栅 | 增量式 | ||
| 步进电机 | 2相，转角1.8° | ||
| 电源电压/V | 24±10% | ||
| 控制接口 | DB15 | ||
| 控制器 | 可选配 | ||
| 适用真空度 | 10-⁴Pa | ||