NIM型真空紫外光谱仪，采用Seya- Namioka光路结构，入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上，可以单色模式和光谱模式切用 。

产品特点

● 波⻓范围较宽

● 在线精密可调狭缝

● 可扩展空间维聚焦

● 可进⾏系统集成服务

● 结构紧凑集成度⾼

● ⾼真空兼容性

主要参数

●光栅类型： 球⾯光栅

● 波⻓范围： 80nm~200nm

● 光谱分辨率： 0.16nm@167nm

● 波⻓精度： 根据需求设计

● 探测器类型： 科研级相机

● 狭缝宽度： 0.01~3mm在线连续可调

测试数据

应用领域

大科学装置；

极紫外光源与探测器研究；