主要技术指标:
1.1分辨率:XY方向:0.2 nm,Z方向:0.01 nm。
1.2 成像模式和功能附件 (1)标配模式:接触模式、动态模式、相位模式、水平力模式和力调制模式 (2)增配模式:电流模式、表面电势模式。
1.3 头部滑动机构 (1)激光器及光路一体化设计 (2)更换样品时,光杠杆系统可作为一体滑动,确保光路的高度稳定性。
1.4 扫描器 扫描器扫描范围: XY轴:10 微米;Z轴1微米;
1.5 Z轴驱动机构 (1)Z轴最小驱动步进: 0.001 nm (2)趋近方式:远距离趋近和近距离趋近,且两种方式之间由仪器自动识别,无需人为调整; (3)具备探针自动保护,自动协调功能。
1.6 控制单元
主要功能:
原子力显微镜(AFM)是在样品表面用微小的探针进行扫描,通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。