NNS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达700/700/200μm，闭环分辨率 5/5/3nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 光学测量
• 半导体加工
NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台 新闻中心产品分类联系方式站内搜索 |
NNS-XY700Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位平台
详细信息 NNS-XY700Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达700/700/200μm，闭环分辨率 5/5/3nm。
典型应用 • 显微成像 • 激光加工 • 表面检测 • 光学测量 |