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应用于裸玻璃、光波导（AR）、玻璃光学镜头、COMS等无图形晶圆检测，搭载高度灵活的分辨率探头和双照明系统方案聚焦划伤、点伤、刮伤、崩边、崩角、脏污、Particle等表面缺陷检测。