工业检测中，高端精密测量仪器对精密三维尺寸、微观形貌、多层材质厚度的测量是把控产品良率、突破工艺瓶颈的关键。传统斜轴方案受限于阴影、盲区及材质，在深孔、高反光、透明材料等场景中频频失效。而高端同轴光谱传感器长期面临海外品牌垄断，国产产品难以真正落地企业产线，制约了国内高端制造产业的提质增效与自主化发展进程。
线光谱共焦传感器成像原理
针对行业关键痛点，精测电子依托“光机电算软”一体化技术平台，精准布局光谱共焦技术领域，以科技部"智能传感器"重点专项为技术支点，成功研发多款线光谱仪器产品。
子公司精一微全新推出LSCC同轴系列3D光谱共焦线扫传感器，基于自研同轴光谱共焦光学架构，融合精密色散、高速光谱解码与同轴光路设计，为IC（集成电路）、晶圆、TGV玻璃通孔、透明材料、精密制造提供无阴影、无盲区、全材质、亚微米级的高速3D在线测量解决方案，打破测量死角，实现高端同轴线光谱传感器的国产自主可控与性能超越。
四大核心亮点
1 同轴光路
真正实现无阴影、零盲区
采用严格同轴光学设计，发射光与接收光沿同一光轴传播，彻底消除传统斜轴方案的阴影遮挡、边缘盲区、视角限制，无论是TGV高深径比微孔，还是复杂的金线矩阵、缝隙、台阶，LSCC均可实现俯视一次扫描全覆盖，数据完整率高达99.5%，确保每一个微观缺陷都精准捕获。
2 光谱共焦
全材质兼容，不受反光干扰 LSCC系列依托光谱色散共焦原理，以白光宽光谱为光源，测量结果基于波长解码，完全不受反射光强、材质颜色、表面粗糙度影响，各类材质均可实现稳定精准测量，同时兼容±45°复杂曲面及大倾角测量场景。 全材质适配 3 超高精度 亚微米级洞察，适配精密场景 LSCC系列可实现50nm的Z轴重复精度和1.23μm的X向分辨率，最高支持3648点/线，全程保持亚微米级精度，无边缘精度衰减，清晰捕捉微米级缺陷，适配半导体晶圆、TGV玻璃通孔、BGA 锡球、Micro-LED、精密齿轮、手机中框/盖板等高精密场景，满足纳米级形貌与层厚检测。 4 极致扫描 高效适配量产产线节拍 LSCC系列最高支持10000线/秒极速扫描，常规稳定扫描速率达4000线/秒，单线条最高采集3648个测量点位。 同时，具备大视野大量程优势，单次扫描覆盖更大区域，以更少扫描次数实现更高效率的大面积大尺寸工件快速检测，一次扫描即可输出3D形貌数据、2D 强度图像等多维度数据，兼顾速度、密度、精度，轻松适配大批量、高节拍的在线检测产线，显著提升检测效率与良率。 应用场景
