软X射线分析谱仪 ( SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer ) 通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV ( 费米边处Al-L基准 ) 的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
1. 强大的分析能力
能检测出金属Li
2. SXES、WDS、EDS的比较
| 特征 | SXES | SXES-ER | WDS | EDS |
| 金属Li检测 | 可能 | 不可能 | 不可能 | 不可能 |
| 过渡金属价态分析 | 不可能 | 可能 | 可能 | 不可能 |
| 多种元素并行检测 | 可能 | 可能 | 不可能 | 可能 |
| 检测限 ( 以B作為參考值 ) | 20ppm | 40ppm | 100ppm | 5000ppm |
3. 可以装在电子探针EPMA和SEM上
产品规格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F