主要特点
1. [Setting]
自动定位，准确安装样品台！迅速找到想观察的点！
进样和获取样品台导航像一键完成。从导航像能够指定分析区域。
2. [Analysis]
充分的自动功能，谁都可以拍到高级的SEM像！
繁琐的设定也能对应，EPMA立马进行元素分析！
3. [Self Maintenance]
内置18种类校正样品，有效进行校正！
配置【分光器校正功能】减轻了定期进行分光器校正的作业而且也避免了校正样品设定时的人为失误；利用夜间对仪器进行校正，提高了工作效率。
按照【维护通知功能】，在必要时期对仪器进行自我维护，保持设备最佳状态。
| 检测元素范围 | WDS: Be＊1 / B to U, EDS: Be to U |
| 检测X-ray 范围 | 波长范围WDS: 0.087 to 9.3 nm 能量范围EDS: 20 keV |
| 谱仪数 | WDS: 最多5个可选, EDS: 1个 |
| 最大样品尺寸 | 100 mm × 100 mm × 50 mm (H) |
| 加速电压 | 0.2 to 30 kV (0.1 kV steps) |
| 探针电流范围 | 1 pA to 10 μA |
| 探针电流稳定性 | ± 0.05％ / h, ± 0.3％ / 12 h（W） |
| 二次电子像分辨率（观察模式） | 6 nm（W）, 5 nm（LaB6）＊3 |
| 扫描放大倍率 | ×40 to 300,000 (W.D. 11 mm) |
| 扫描图像分辨率 | Maxium 5,120 × 3,840 |