催化反应一般只发生在材料的最表层。低能离子散射谱（Low-Energy In Scattering ,LEIS)利用具有特定能量的惰性气体离子入射到样品表面，与样品表面的原子进行弹性碰撞。根据弹性散射理论，散射离子的能量分布与表面原子的原子量相关。通过对散射离子能量进行分析，就可以得到表面元素组分及表面结构的信息。低能离子散射谱所获得的信息来自样品的最表层，因而是研究表面成分、表面结构以及表面过程的强有力的手段。
低能粒子散射谱原理示意图
ION-TOF公司的Qtac-100型低能离子散射谱仪采用新型离子收集器，相比传统LEIS系统，灵敏度提高3000倍!
主要特点如下：
1、新型的全方位角离子收集器，可以收集样品表面特定区域的几乎全部反射离子。
2、超高的表面灵敏度，信息深度一般在3个原子层之内。
3、良好的定量特性。
4、离子源可以工作在高束流模式和分析模式之间切换，可以对样品进行清洁和溅射。
5、自动化的真空系统、完善的互锁装置，使操作更简单。
6、最表层原子定量分析。
低能离子散射谱(LEIS)的一个显著特点就是其超高的表面灵敏度和良好的定量性。相对于其他常见的表面分析手段，例如XPS、AES ，它最大的特点是可以把信息深度缩小到单原子层厚度。配合上深度剖析， 则可以实现从表面单原子层成分分布成像，到样品深度方向成分变化等多种测量。
应用：
1、可以与多种生长设备和其他分析设备集成；
2、可用于单原子层沉积过程和生长动力学研究；
3、可用于分析粗糙表面和绝缘材料分析；
4、可用于于材料催化性能研究；
5、可用于生物材料、半导体材料等性能研究。
应用实例：
