TOF-SIMS 5 是过去25年来开发的一代高端TOF-SIMS仪器。其设计保证了SIMS应用于任何领域都能达到高性能。灵活的高精度样品导航以及成功的电荷补偿功能允许对几乎所有类型的样品进行分析，使TOF-SIMS 5 成为市场上非常灵活的SIMS工具。由于采用模块化设计，仪器可配置一系列优化的离子枪、样品制备设备和各种特殊配件，以满足高挑战性的分析任务。仪器所有功能和参数均由计算机控制，确保了仪器的易用性和高度自动化。
仪器主体配备一个高质量分辨率和高二次离子传输率的反射型 TOF 分析器，一个带有可灵活导航的5轴（x，y，z，旋转和倾斜）样品台的样品分析室，一个快速进样室，一个用于绝缘样品分析的电荷补偿装置，一个用于SEM成像的二次电子探测器，一套先进的真空系统，以及一套用于自动化和数据处理的拓展软件包。提供各种不同的功能选项和附件，例如用于分析挥发物的样品加热和冷却功能，中性粒子的激光后电离等。还提供例如原位样品制备室和样品转移系统的配置。特别是通过与XPS，俄歇和其他仪器的超高真空互联，可实现在样品免于暴露大气的前提下，进行多技术分析。
TOF SIMS 5 产品主要特点：
1、可以并行探测所有元素和化合物，具有极高的传输率，只需要一次轰击就可以得到研究点的完整质量谱图。
2、可以探测的质量数范围包括10000原子量单位以下的所有材料，包括H, He等元素。
3、可以分辨同位素。
4、质量分辨率可以达到10000至15000以上！
5、具有很小的信息深度(小于1nm)，可以分析材料最表层(原子层)的结构。
6、极高的空间分辨率，对于样品表面的组成结构一目了然。
7、达到ppm - ppb级的探测极限。
8、对于化合物，可以同时给出分子离子峰和官能团碎片峰；可以方便的分析出化合物和有机大分子的整体结构。
9、采用双束离子源可以对样品进行快速深度剖析。
10、采用高效的电子中和枪，可以精确的分析绝缘材料。