INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
优势：
高速检漏，可进行腔体检漏
提高生产率和产量
寿命长，不烧丝，有气涌保护
可承受工艺化学反应
智能算法，易于集成
设计紧凑，占地面积小
可靠、快速启动
典型应用
腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试
泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏
实时终端控制
气体类型和浓度控制