SmartSPM扫描探针显微镜是第一个100%自动化的系统，它为所有AFM和STM模式下的纳米级先进材料研究提供了快速、计量和高分辨率测量的尖端技术。SmartSPM可以从达到100µm范围扫描到原子级分辨率扫描。它能够与光学光谱（SNOM、Raman、光致发光和TERS/SERS技术）无缝耦合。
操作完全自动化
全自动激光-光电二极管准直
更换针尖简单方便
丰富的各种测量模式
系统调试速度快
分辨率/稳定性/精确度
闭环平板扫描器即可实现100µm大范围扫描，也可实现分子/原子分辨率扫描。
标准测量无需隔振系统。
低噪音传感器设计保证了在分子分辨率成像过程中也能打开闭环，获得准确的结果。
快速扫描
采用业界最高的高共振频率扫描器（XY>7kHz和 Z>15kHz），优化的扫描器控制算法可以轻松实现快速扫描。
标配几乎所有SPM模式，无需添加任何附件和额外成本
包括开尔文探针显微镜，压电响应力显微镜，纳米蚀刻和纳米操纵。
轻松升级到纳米拉曼光谱仪
SmartSPM无论从软件设计到硬件设计都能与拉曼系统进行无缝的耦合。
SmartSPM扫描器和基座
闭环平板扫描器： 100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)
扫描器非线性：XY≤0.05 %; Z≤0.05 %
噪声水平：XY≤0.1 nm RMS（200 Hz带宽，电容传感器打开）；XY≤0.02 nm RMS（100 Hz带宽，电容传感器关闭）；Z<0.04 nm RMS （1000 Hz带宽，电容传感器开）
高频扫描器：XY≥7 kHz; Z≥ 15 kHz
X, Y, Z自动趋近：XYZ数字闭环控制，Z向马达趋近距离18mm
样品尺寸：40 mm x 50 mm x 15 mm
样品定位：自动样品台范围：5 mm x 5 mm
定位精度：1µm