速度和灵活性兼备是微区 X 射线荧光光谱的发展方向
<15µm 超高强度X射线头，兼具高灵敏度和高空间分辨率
高分辨相机和多种照明模式成像
双检测器！荧光X射线检测器和透射X射线检测器
轻元素检测器使元素检测范围下延到C元素
激发系统
XGT-9000 以其精心设计的激发系统保证卓越性能和灵活性，X射线发生器具有高达 50 kV 和 1000 µA 的高输出。 此外可以通过我们多样化的X射线头提供多种尺寸（10μm - 1.2mm）的激发用初级 X 射线，其中就包括超高强度X射线头（probe），以实现快速测量。
光学图像
抓取清晰的图像对于微区XRF至关重要，XGT-9000 提供高分辨率相机，可以获取整个样品及其细节显微镜水平的图像。同时，多种照明模式保证图像的清晰度，即便是透明或有较强反射的样品。
样品仓
XGT-9000 样品仓可容纳各种样品，包括微型碎片、印刷电路板、硬币、薄片、粉末、液体、晶圆，并根据需求提供各种样品架，此外最多可以选择 4 种测量环境来提高灵敏度。
检测器
XGT 9000提供透射和荧光X射线双探测器，透射X射线检测器使用户能够检测样品的内部缺陷和异物，而荧光X射线检测器（配置轻元素检测器）检测范围可从C到Am。
软件套件
功能强大的XGT 9000 软件，包括全面完整的基本测试功能，如单点测试、多点测试、线分析和Mapping测试等。除了基本测试功能外，还可以在软件套件中添加高级模块，以提供更丰富的用户体验。
多层FPM模块可以进行厚度测试，有无标样都可以进行
RoHS检测模块用于RoHS要求的有害元素筛查
队列模块自动进行多区域自动测试
颗粒搜寻模块可以进行颗粒分析以及原位分析
LabSpec Link模块，将数据导入到LabSpec 6以进行多变量分析
| 型号 | XGT-9000 | XGT-9000SL |
|---|---|---|
| 基本信息 | ||
| 仪器 | 微区X射线荧光分析仪 | |
| 样品类型 | 固体、液体、颗粒 | |
| 检测元素 | 轻元素检测器：C* – Am (常规检测器：F – Am) | |
| 样品仓尺寸 | 450(W) x 500(D) x 80(H) | 1030(W) x 950(D) x 500(H) |
| 最大样品尺寸 | 300(W) x 250(D) x 80(H) | 500(W) x 500(D) x 500(H) |
| 样品最大质量 | 1 kg | 10 kg |
| 光学观察 | 两个带物镜的高分辨率相机 | |
| 光学设计 | 垂直同轴 X 射线和光学观察 | |
| 样品照明/观察 | 顶部、底部和侧向照明/明场和暗场 | |
| X-射线管 | ||
| 功率 | 50 W | |
| 电压 | 最高50 kV | |
| 电流 | 最大1 mA | |
| 靶材 | Rh | |
| X射线光光学系统 | ||
| X射线头数量 | 最多配置四个 | |
| 光谱优化初级X-射线滤光片 | 5个位置 | |
| 检测器 | ||
| 荧光X-射线检测器 | 硅漂移检测器（SDD） | |
| 透射X射线检测器 | NaI(Tl) | |
| 扫描分析 | ||
| 扫描范围 | 100 mm x 100 mm | 350 mm x 350 mm |
| 步进尺寸 | 2 mm | 4 mm |
| 运行模式 | ||
| 样品环境 | 全真空/局部真空/大气环境/He吹扫（选配） | 局部真空/大气环境/He吹扫（选配） *He吹扫条件对于两个检测器都检测到C和F是必要的。 |