DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具，低电压高分辨的电子镜筒，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器，一体化设计的控制软件，为您打造全能纳米分析和加工中心。
低压高分辨电子镜筒
“承影”离子镜筒
分辨率：3 nm@30 kV
探针电流：1 pA~65 nA
加速电压范围：500 V~30 kV
使用寿命：≥1000小时
长时间稳定性：72小时不间断工作
丰富的扩展能力
集成式气体注入器
集成式纳米机械手
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式
气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围：室温~90℃
集成式控制方式
快速换样仓（最大8寸）
产品优势：
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品
“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位
自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务
产品参数
| 电子束系统 | 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
| 分辨率 | 0.9 nm@15 kV | |
| 加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
| 离子束系统 | 离子源类型 | 液态镓离子源 |
| 分辨率 | 3 nm@30 kV | |
| 加速电压 | 500 V ~ 30 kV | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 |
| 摄像头 | 三摄像头 | |
| （光学导航+样品仓内监控x2） | ||
| 样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
| 样品台行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器(Inlens) |
| 旁侧二次电子探测器（ETD） | ||
| 选配 | 插入式背散射电子探测器（BSED） | |
| 插入式扫描透射探测器（STEM） | ||
| 能谱仪（EDS） | ||
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 纳米机械手 | ||
| 气体注入器 | ||
| 等离子清洗 | ||
| 样品交换仓 | ||
| 轨迹球&旋钮控制板 | ||
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |