高通量、全自动化的动态二次离子磁质谱
IMS 7f-Auto是IMS 7f系列最成功、最前沿的型号，是 CAMECA功能最全面的二次离子质谱仪。它针对具有 挑战性的应用进行了优化，可满足玻璃、金属、陶瓷， 硅基、111-V和11-V1器件、块体材料、薄膜等类型样品的分析需求。
半导体
满足高效的器件开发和工艺控制要求
掺杂物和杂质的最佳检出限
掺杂物分析
CAMECA IMS 7f-Auto具有优异的灵敏度和高动态范围，可在几分钟内对深几微米的样品表层进行深度分析。对于Si的三种主要掺杂物(B, P, As),可以达到低于ppb级别的检出限。
轻质元素测量
要达到轻质元素 ( H , C , N , O ) 的 最佳检出限，需要分析室具有最佳的真空度，且高溅射速率，以最大限度减小分析室中的残留气体的影响。CAMECA IMS 7f-Auto就满足这样的条件，因而具有极佳的检出限， 远超TOF-SIMS 等类似分析技术的检测能力。
金属污染
IMS 7f-Auto在高质量分辨率下也具有高离子传输率和出色的丰度灵敏度，同时还可采用注氧技术提高金属元素的电离产率, 从而为硅基材料中的金属元素分析提供最佳的检出限。
光伏材料
支持可再生能源新材料的研发和生产
硅基太阳能电池设备的制造是基于纯度至少 6N 的高纯冶金级硅（UMG- Si）光伏硅原料。要保障高产量，硅纯化工艺的质量控制必不可少。
IMS 7f-Auto以高可靠性、高效率和ppb到ppm 范围内的检出限（取决于元素类别）定量测量痕量元素的浓度。
对轻质元素、掺杂物、金属和其他杂质均可获得极佳的检出限。
测量过程中的溅射速率很高（通常为每分钟半微米）。因此，在10分钟内可以测量5 μm深的表层，提供有关痕量元素均匀性分布的信息。
IMS 7f-Auto还可通过扫描离子成像功能，提供亚微米级的空间分辨率 。
多层光伏器件
高效多层光伏器件要求
在成分不同的各层之间形成清晰的界面过渡。掺杂物的不准确放置或层成分的梯度过渡通常会降低器件性能。
事实证明，IMS7f-Auto在解决多层光伏材料表征的各种问题方面极为有用，其中包括：
• 层界面质量
• 掺杂浓度和分布
• 杂质控制
材料科学
对于研究各种材料具有极高灵敏度和横向分辨率
冶金样品谱图
对于冶金应用 ，痕量元素或主要元素的2D 图像或3D体积重建非常有用。
凭借独特的2D和3D离子成像功能，IMS 7f - Auto 已成为冶金应用的首选工具 。 使用 CAMECA Winimage软件 ， 还可以获得强大的图像处理功能。
绝缘体分析
IMS 7f-Auto可配备正入射电子枪（NEG），用以简单、有效地样品电荷补偿。在负离子极性模式下这一独特设计的系统对样品表面电荷进行补偿，从而可对所有类型的绝缘材料（多层结构、玻璃、金刚石等）进行完美分析。
微区分析
IMS 7f-Auto可提供亚微米级别的横向分辨率，这对于材料分析非常有用。
使用 CAMECA Checkerboard 软件，可以从进行深度溅射时连续记录的离子图像中选区追溯获得深度曲线 。 请注意 ， 成像模式下的高动态范围是CAMECA扇形磁场SIMS所特有的。
铝合金中的氢
氢原子很容易渗入金属，并与各种晶格缺陷（如位错、晶界和次生颗粒）相互作用，导致机械性能的降低，即所谓的氢脆化现象。本研究通过彻底排除了误检测可能性（如来自氢背景的干扰），首次成功地检测和展示了在金属间化合物颗粒中被困的实际氢。
IMS 7f-Auto的设计经过优化，得益于分析室中的低真空水平和高密度的Cs原始束轰击，可用于轻质元素的分析。该研究表明，SIMS是一种强大的技术，可实现金属材料中氢局部分布的可视化。
CAMECA凭借独特的形磁场质谱仪设计在SIMS技术领域占据领先地位。新型IMS7f-Auto不仅易用、 高效，还可提供超高精确度的元素和同位素分析结果。
结合了 IMS 7f现场使用经验，IMS7f-Auto具备 以下优势：
• 完善的深度分布分析功能
• 极高的灵敏度
• 极高的质量分辨率
• 高动态范围
• 轻质元素和痕量元素都具有目前最好的检出限
• 直接成像和扫描离子成像模式
…以及其他旨在提升自动化水平和运营效率的功能。
新的同轴一次离子腔
IMS 7f-Auto配备了重新设计的同轴一次离子腔，可简化操作并加快一次离子束调整。离子源可同时安装双等离子体离子源和铯微束高亮度离子源，分别用于分析电正性和电负性物质。加速-减速提取系统可以在低至500eV的冲击能量下，用O2+ —次离子束进行分析，提供出色的深度分辨率。还可以使用一次离子监控功能，每个数据点存储 一个Ip值。这样可确保可靠地对一次离子束进行偏转校正，从而保证了优化的精度和测量重复性。
新的自动存储室
为满足对检测效率不断增长的需求，新开发了一个全自动存储室，该存储室可以在真空环境下容纳多达6个1英寸直径的样品台。这对于需要良好真空环境的应用非常有用。存储室和分析室之间的样品台交换完全自动进行并由计算机控制，可在自动化、无人值守或远程控制模式下对多个样品台执行一系列分析。结合旨在实现二次离子束精确对中的自动程序，便可在不同检测窗和/或多个样品台之间实现出色的短期和长期重复性。
最先进的质谱分析和检测系统
IMS 7f-Auto继承了IMS 7f经过现场验证的二次离子腔设计。
• 正入射电子枪（NEG）确保对所有类型的绝缘材料进行简单且可重复的分析。对于负二次离子分析，它提供了低能电子（几电子伏）和充电效应的自动补偿模式。
• 具有快速峰切换功能的扇形磁场双聚焦质谱仪。
• 检测系统结合了一个法拉第杯和一个电子倍增器 ， 提供了动态范围达10个数量级的计数系统。
• 出色的成像功能：
直接离子成像（“显微镜"）模式：用于日常仪器调整和便于定位分析区域的像散图像可视化。
扫描离子成像（“微探针”）模式：在样品表面上扫描聚焦的一次离子束 ， 从而提供高 （亚微米）横向分辨率。这种灵活的成像模式非常适合进行微区分析。
3D图像重构可获取随深度变化的连续2D 图像，两种模式均可实现。