三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
技术特点：
超高定位精度
无摩擦柔性铰链导向
高速、高动态
亚纳米级分辨率
多运动模式:定位/扫描
超高真空兼容
应用领域：
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
高密度储存
测量技术
表面检测
半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-XYZ-100 |
运动轴 | X，Y，Z |
行程（um） | 100/X轴，100/Y轴，50/Z轴 |
闭环分辨率（nm） | 0.35 |
重复定位精度（nm） | 1 |
传感器类型 | 电容式传感器 |
X/Y/Z向上的空载谐振频率（Hz） | 600/600/550 |
最大负载（g） | 200 |
工作温度范围（℃） | -20~80 |
材料 | 铝合金 |
外形尺寸（mm） | 40x40x42 |
质量（g） | 150 |
适配控制器 | 数字伺服控制器 NPC-031/数字伺服控制器NPC-042/纳米伺服控制器 APS-203 |