重载Z轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态位移扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超高定位精度
高动态
多运动模式：定位/扫描
兼容超高真空
无摩擦柔性铰链导向
应用领域：
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
光栅刻写
双光子聚合
光学移相
晶圆检测
表面检测
测量技术
半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-Z-100 |
运动轴数 | 1 |
传感器类型 | 电容传感器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
闭环行程 (um) | 100 |
分辨率 (nm) | 0.25 |
重复定位精度 (nm) | ＜5 |
无负载谐振频率 (Hz) | 800 |
最大负载 (kg) | 3.5 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
尺寸 (mm) | 90x36.5x90 |
自重（g） | 685 |
电气接口 | D-sub9 |
真空度 | 真空兼容5X10-9 (mBar)可选 |
工作温度（℃） | 10~50 |
适配控制器 | 数字伺服控制器 NPC-031/纳米伺服控制器APS-203 |