X轴纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，内置电容位移传感器，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超高定位精度
高动态
多运动模式：定位/扫描
兼容超高真空
无摩擦柔性铰链导向
应用领域：
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
光栅刻写
双光子聚合
光学移相
晶圆检测
表面检测
测量技术
半导体加工
规格参数：
型号 | NP-ST-X-100 |
运动轴 | X |
传感器类型 | 电容传感器 |
驱动类型 | 压电陶瓷 |
闭环行程 (um) | 100 |
分辨率 (nm@50Hz) | 0.25 |
重复定位精度 (nm) | 1 |
最大负载 (kg) | 1 |
无负载谐振频率 (Hz） | 3000 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
尺寸 (mm) | 55x45x18.3 |
真空 | 超真空兼容5X10-9 (mBar)可选 |
自重 (g) | 208 |
电气接口 | D-sub9 |
工作温度（℃） | -20-80 |
推荐控制器/驱动器 | 数字伺服控制器NPC-031/纳米伺服控制器APS-203 |