● 新型潘式扫描探头，可扩展qPlus AFM功能，模块化设计，易于维护
● 可选光学通道，适于光学实验
● 多源MBE样品制备，可原位沉积
● 袖珍型进样室，快速传输样品
| 扫描探头 | 光耦合兼容 | |
| 模块化设计，可扩展qPlus AFM功能 | ||
| 最低工作温度 | ≤5K | |
| X/Y/Z粗移动范围 | 2×2×8mm | |
| X/Y/Z扫描范围 | 6×6×2μm @ RT | |
| 1.5×1.5×0.5μm @ LHe | ||
| 低温维持时间 | ≥50h(液氦容积4L、液氮容积15L） | |
| 温度漂移 | ＜0.2nm/h | |
| 分辨率 | 原子级分辨率 | |
| 样品台 | X/Y轴 | ±12.5mm，手动 |
| Z轴 | 450mm，步进电机 | |
| 自转 | ±180°，手动 | |
| 公转 | ±180°，手动 | |
| 温度范围 | 120K~室温 (LN2冷却) | |
| 室温~1450K（E-Beam加热） | ||
| 蒸发源: 最多6个 | DN40CF( O.D. 2.75'') | 5个 |
| DN63CF( O.D. 4.5'') | 1个 | |
| 可选项 | 光学通道，适用于光学实验 | |
| 反射高能电子衍射仪 | ||
| 低能电子衍射仪 | ||
| 离子枪(3Kev/5Kev) | ||