●样品尺寸：４英寸基片向下兼容
●10个源炉接口，其他数量可定制
●具有快速进样及传样的特点；最多暂存5片样品，其他数量可定制
●兼容SPM、RHEED、QCM、BFM等多种原位生长表征和监测手段
●全自动化生长系统，可对各腔体真空泵实施操作、可控制各互联腔体插板阀、可进行工艺编程及实时监控系统状态；19寸触控式总控屏幕
●集成化水电气模块，便于后期维护
生长腔 | 样品尺寸 | 4 inch 向下兼容 |
腔体直径 | 550 mm | |
腔体材质 | 316L | |
极限真空 | 优于3×10-10mbar | |
四维运动样品台 | 最高1200℃ | |
蒸发源数量 | CF63×10 | |
烘烤温度 | 150℃ | |
样品预处理腔 | 极限真空 | 优于5×10-10 mbar |
样品台 | 最高800℃（可按需定制） | |
Load-lock腔 | 接口数量 | 2×CF63 |
极限真空 | 优于4.5×10-8 mbar | |
样品暂存数量 | 5片（可按需定制） | |
控制系统 | 基础功能 | 19英寸触控操作面板 |
系统实时监测 | ||
泵阀规自动控制，一键PUMP，一键VENT | ||
设定真空、传样安全互锁，配备不间断电源 | ||
自动化烘烤控制 | ||
不间断数据记录 | ||
生产工艺编程，自动化控制 | ||
报警保护功能，系统急停按钮 | ||
样品台自动控制 | ||
可选功能 | 生产工艺 |