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深圳市中图仪器股份有限公司  
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公司新闻
极小尺寸到极大尺寸的科创认可——中图仪器获第二十六届中国专利奖!
2026-08-017

7月3日,第二十六届中国专利奖评审完成公示。其中,中图仪器凭借在几何量测量领域中的技术创新、专利运用、以及社会效益等多个方面的出色表现,GTS系列激光跟踪仪和光学3D表面轮廓仪系列产品的两项关键技术获得2项中国专利优秀奖。

中国专利奖是由中国国家知识产权局与世界知识产权组织共同主办的政府部门奖,设立于1989年,是我国唯一针对授权专利给予奖励的国家级奖项,是我国专利领域公认的最高荣誉。

01 GTS系列激光跟踪仪

激光跟踪仪主要用于百米大尺度空间三维坐标的精密测量,在大尺度空间测量工业科学仪器中具有极高的精度和重要性,是唯一同时具有μm级别精度、百米工作空间的高精密光电测量仪器。然而,激光跟踪仪作为光、机、电、算多学科高度集成的尖端测量设备,技术壁垒极高,长期被国外企业牢牢掌控,形成极难突破的高度集中垄断格局。

针对激光跟踪仪在微米级激光测距、亚秒级角度测量、高速伺服跟踪、精密机械结构、复杂误差模型、6D位姿解算等方面的难题,中图仪器研发团队坚持了长达十余年的艰苦研发和突破,终于成功研制出具有自主知识产权的激光跟踪仪,并优化迭代至今,形成数代产品。目前,中图仪器GTS3000系列三自由度激光跟踪仪和GTS6000系列六自由度激光跟踪仪,已经广泛应用于船舶、轨道交通、机器人、新能源装备等精密工业领域,取得了良好的经济和社会效益。

02 光学3D表面轮廓仪

W系列光学3D表面轮廓仪是由中图仪器自主研发的一款用于对各种精密器件及材料表面进行三维测量的极小尺寸精密测量仪器,具备超高精度的显微三维重建能力,其形貌重复性可达≤0.1nm。W系列光学3D表面轮廓仪优异的高精度三维重建能力来自于于中图仪器多年来的技术攻坚,是研发团队针对白光干涉垂直扫描测量系统中的非精确均匀采样影响,环境气流、声波、地面振动干扰,白光干涉信号噪声等多误差源影响精度的难题进行攻关后的技术结晶。

目前W系列光学3D表面轮廓仪已经广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光通信器件、3C电子、光学加工、微纳材料、MEMS器件等超精密加工行业,可以测量从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数,同样也取得了良好的经济和社会效益。

中图仪器作为国内几何量测量仪器领域的中坚力量,致力于解决精密测量领域难题、推动国产替代,聚焦微纳三维形貌测量、常规尺寸测量和大尺度空间测量三大领域,为客户提供纳米到百米的精密测量解决方案。目前,中图仪器构建了完善的知识产权体系,累计授权专利265件,包括授权发明专利135件,覆盖从纳米到百米的各个产品线,以完善的自主知识产权体系为技术领先、市场竞争和业务安全提供坚实的支撑。

本次斩获两项中国专利优秀奖,是国家对中图仪器研发创新能力、知识产权能力和社会效益的高度认可,印证了中图仪器的核心技术突破与自主可控能力,中图仪器将继续投身于精密测量技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新、为中国高端精密制造贡献更大力量。